文献
J-GLOBAL ID:201002227738790631
整理番号:10A0731841
マスクを製造するための設計を意図した抽出フローの開発
Development of a Design Intent Extraction Flow for Mask Manufacturing
著者 (5件):
KATO Kokoro
(Assoc. Super-Advanced Electronics Technol. (ASET))
,
ENDO Masakazu
(Assoc. Super-Advanced Electronics Technol. (ASET))
,
INOUE Tadao
(Assoc. Super-Advanced Electronics Technol. (ASET))
,
YAMABE Masaki
(Assoc. Super-Advanced Electronics Technol. (ASET))
,
NAKATAKE Shigetoshi
(Kitakyushu Univ.)
資料名:
Proceedings of SPIE
(Proceedings of SPIE)
巻:
7641
ページ:
76410K.1-76410K.8
発行年:
2010年
JST資料番号:
D0943A
ISSN:
0277-786X
CODEN:
PSISDG
資料種別:
会議録 (C)
記事区分:
原著論文
発行国:
アメリカ合衆国 (USA)
言語:
英語 (EN)