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文献
J-GLOBAL ID：201002228198604090
整理番号：10A0664144
双方向2軸静電MEMS位置決めシステム
A Bidirectional Two-Axis Electrostatic MEMS Positioning System
SIVAKUMAR Ganapathy
(Texas Tech Univ., TX, USA)
,
MATTHEWS James
(Angelo State Univ., TX, USA)
,
SUBHANI Mahmood
(Texas Tech Univ., TX, USA)
,
DALLAS Tim
(Texas Tech Univ., TX, USA)
資料名：
Journal of Microelectromechanical Systems
(Journal of Microelectromechanical Systems)
巻： 19 号： 3 ページ： 451-457 発行年： 2010年06月
JST資料番号： W0357A ISSN： 1057-7157 CODEN： JMIYET 資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文 発行国： アメリカ合衆国 (USA) 言語： 英語 (EN)
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