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文献
J-GLOBAL ID：201002228511872239
整理番号：10A0508480
PVT法によるSiCポリタイプの同定と調整
Identification and control of SiC polytypes in PVT method
LIN Shenghuang
(Xi’an Univ. Technol., Xi’an, CHN)
,
CHEN Zhiming
(Xi’an Univ. Technol., Xi’an, CHN)
,
LIU Bo
(Xi’an Univ. Technol., Xi’an, CHN)
,
LI Lianbi
(Xi’an Univ. Technol., Xi’an, CHN)
,
FENG Xianfeng
(Xi’an Univ. Technol., Xi’an, CHN)
資料名：
Journal of Materials Science. Materials in Electronics
(Journal of Materials Science. Materials in Electronics)
巻： 21 号： 4 ページ： 326-330 発行年： 2010年04月
JST資料番号： W0003A ISSN： 0957-4522 CODEN： JMTSAS 資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文 発行国： アメリカ合衆国 (USA) 言語： 英語 (EN)
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