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文献
J-GLOBAL ID：201002228741628582
整理番号：10A1127524
N2-O2マイクロ波放電プラズマ中の窒素および酸素の解離度のアクチノメトリー測定
Actinometry Measurement of Dissociation Degrees of Nitrogen and Oxygen in N2-O2 Microwave Discharge Plasma
ICHIKAWA Yosuke
(Tokyo Inst. Technol., Tokyo, JPN)
,
SAKAMOTO Takeshi
(Tokyo Inst. Technol., Tokyo, JPN)
,
NEZU Atsushi
(Tokyo Inst. Technol., Tokyo, JPN)
,
MATSUURA Haruaki
(Tokyo Inst. Technol., Tokyo, JPN)
,
AKATSUKA Hiroshi
(Tokyo Inst. Technol., Tokyo, JPN)
資料名：
Japanese Journal of Applied Physics
(Japanese Journal of Applied Physics)
巻： 49 号： 10 ページ： 106101.1-106101.16 発行年： 2010年10月25日
JST資料番号： G0520B ISSN： 0021-4922 CODEN： JJAPB6 資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文 発行国： イギリス (GBR) 言語： 英語 (EN)
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