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文献
J-GLOBAL ID：201002229863747392
整理番号：10A0761752
同軸アークプラズマガンを用いた超ナノ結晶ダイアモンド/水素化非晶質炭素複合膜の蒸着過程における光学発光分光法
Optical emission spectroscopy of deposition process of ultrananocrystalline diamond/hydrogenated amorphous carbon composite films by using a coaxial arc plasma gun
HANADA Kenji
(Dep. of Applied Sci. for Electronics and Materials, Kyushu Univ., 6-1 Kasuga, Fukuoka 816-8580, JPN)
,
NISHIYAMA Takashi
(Dep. of Aeronautics and Astronautics, Kyushu Univ., 744 Motooka, Nishi-ku, Fukuoka 819-0395, JPN)
,
YOSHITAKE Tsuyoshi
(Dep. of Applied Sci. for Electronics and Materials, Kyushu Univ., 6-1 Kasuga, Fukuoka 816-8580, JPN)
,
NAGAYAMA Kunihito
(Dep. of Aeronautics and Astronautics, Kyushu Univ., 744 Motooka, Nishi-ku, Fukuoka 819-0395, JPN)
資料名：
Diamond and Related Materials
(Diamond and Related Materials)
巻： 19 号： 7-9 ページ： 899-903 発行年： 2010年07月
JST資料番号： W0498A ISSN： 0925-9635 資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文 発行国： オランダ (NLD) 言語： 英語 (EN)
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