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文献
J-GLOBAL ID：201002234061336986
整理番号：10A0491139
ポリ(ビフェニルテトラカルボキシルジアンヒドリド-パラフェニレンジアミン)ポリイミドターゲットを用いたRFスパッタリングにより作製した薄膜の吸着特性
Adsorption Properties of Thin Films Prepared by RF Sputtering with a Poly(biphenyltetracarboxylic dianhydride-paraphenylene diamine) Polyimide Target
IWAMORI Satoru
(Kanazawa Univ., Kanazawa, JPN)
,
YANO Satoshi
(Kanazawa Univ., Kanazawa, JPN)
,
SUGIMOTO Ryousuke
(Kanazawa Univ., Kanazawa, JPN)
,
UEMURA Akihiro
(Kanazawa Univ., Kanazawa, JPN)
,
UEMURA Akihiro
(Industrial Res. Inst. Ishikawa, Kanazawa, JPN)
,
MATSUMOTO Hiroyuki
(Kanazawa Univ., Kanazawa, JPN)
,
MATSUMOTO Hiroyuki
(Iwasaki Electric Co. Ltd., Saitama, JPN)
,
NODA Kazutoshi
(National Inst. Advanced Industrial Sci. and Technol.(AIST), Ibaraki, JPN)
資料名：
Japanese Journal of Applied Physics
(Japanese Journal of Applied Physics)
巻： 49 号： 4,Issue 2 ページ： 04DK18.1-04DK18.5 発行年： 2010年04月25日
JST資料番号： G0520B ISSN： 0021-4922 CODEN： JJAPB6 資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文 発行国： イギリス (GBR) 言語： 英語 (EN)
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