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文献
J-GLOBAL ID：201002234809746503
整理番号：10A0389937
MEMS応用のための薄い金属シートのマイクロモールドベースレーザ衝撃エンボス加工
Micromould based laser shock embossing of thin metal sheets for MEMS applications
LIU Huixia
(School of Mechanical Engineering, Jiangsu Univ., Xuefu Road, Zhenjiang 212013, CHN)
,
SHEN Zongbao
(School of Mechanical Engineering, Jiangsu Univ., Xuefu Road, Zhenjiang 212013, CHN)
,
WANG Xiao
(School of Mechanical Engineering, Jiangsu Univ., Xuefu Road, Zhenjiang 212013, CHN)
,
WANG Hejun
(School of Mechanical Engineering, Jiangsu Univ., Xuefu Road, Zhenjiang 212013, CHN)
,
TAO Maoke
(School of Mechanical Engineering, Jiangsu Univ., Xuefu Road, Zhenjiang 212013, CHN)
資料名：
Applied Surface Science
(Applied Surface Science)
巻： 256 号： 14 ページ： 4687-4691 発行年： 2010年05月01日
JST資料番号： B0707B ISSN： 0169-4332 資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文 発行国： オランダ (NLD) 言語： 英語 (EN)
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