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文献
J-GLOBAL ID：201002235124789737
整理番号：10A0510188
シリコンのヤング率とは何か?
What is the Young’s Modulus of Silicon?
HOPCROFT Matthew A.
(Univ. California at Berkeley, CA, USA)
,
NIX William D.
(Stanford Univ., CA, USA)
,
KENNY Thomas W.
(Stanford Univ., CA, USA)
資料名：
Journal of Microelectromechanical Systems
(Journal of Microelectromechanical Systems)
巻： 19 号： 2 ページ： 229-238 発行年： 2010年04月
JST資料番号： W0357A ISSN： 1057-7157 CODEN： JMIYET 資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文 発行国： アメリカ合衆国 (USA) 言語： 英語 (EN)
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