文献
J-GLOBAL ID:201002237648609372
整理番号:10A0466854
非晶質絶縁基板上に成長させた高圧電AlN薄膜
Highly piezoelectric AlN thin films grown on amorphous, insulating substrates
著者 (3件):
ARTIEDA Alvaro
(Lab. de Ceramique, Ecole Polytechnique Federale de Lausanne (EPFL), 1015 Lausanne, CHE)
,
SANDU Cosmin
(Lab. de Ceramique, Ecole Polytechnique Federale de Lausanne (EPFL), 1015 Lausanne, CHE)
,
MURALT Paul
(Lab. de Ceramique, Ecole Polytechnique Federale de Lausanne (EPFL), 1015 Lausanne, CHE)
資料名:
Journal of Vacuum Science & Technology. A. Vacuum, Surfaces and Films
(Journal of Vacuum Science & Technology. A. Vacuum, Surfaces and Films)
巻:
28
号:
3
ページ:
390
発行年:
2010年05月
JST資料番号:
C0789B
ISSN:
0734-2101
CODEN:
JVTAD6
資料種別:
逐次刊行物 (A)
記事区分:
原著論文
発行国:
アメリカ合衆国 (USA)
言語:
英語 (EN)