文献
J-GLOBAL ID:201002239132176065
整理番号:10A0826785
ダブルパターニングリソグラフィーにおける二峰性CD分布のためのタイミング歩留りを考慮した色配置転換と詳細配置摂動
Timing Yield-Aware Color Reassignment and Detailed Placement Perturbation for Bimodal CD Distribution in Double Patterning Lithography
著者 (3件):
GUPTA Mohit
(Univ. California at San Diego, CA, USA)
,
JEONG Kwangok
(Univ. California at San Diego, CA, USA)
,
KAHNG Andrew B.
(Univ. California at San Diego, CA, USA)
資料名:
IEEE Transactions on Computer-Aided Design of Integrated Circuits and Systems
(IEEE Transactions on Computer-Aided Design of Integrated Circuits and Systems)
巻:
29
号:
8
ページ:
1229-1242
発行年:
2010年08月
JST資料番号:
B0142C
ISSN:
0278-0070
CODEN:
ITCSDI
資料種別:
逐次刊行物 (A)
記事区分:
原著論文
発行国:
アメリカ合衆国 (USA)
言語:
英語 (EN)