文献
J-GLOBAL ID:201002239885851270
整理番号:10A1126526
Pb(Mn,Nb)O3-Pb(Zr,Ti)O3をスパッタした薄膜によって作った高性能4GHz FBAR
High Performance 4GHz FBAR Prepared by Pb(Mn,Nb)O3-Pb(Zr,Ti)O3 Sputtered Thin Films
著者 (9件):
MATSUSHIMA T.
(Panasonic Electric Works, Co., Ltd., Osaka, JPN)
,
YAMAUCHI N.
(Panasonic Electric Works, Co., Ltd., Osaka, JPN)
,
SHIRAI T.
(Panasonic Electric Works, Co., Ltd., Osaka, JPN)
,
YOSHIHARA T.
(Panasonic Electric Works, Co., Ltd., Osaka, JPN)
,
HAYASAKI Y.
(Panasonic Electric Works, Co., Ltd., Osaka, JPN)
,
UEDA T.
(Panasonic Electric Works, Co., Ltd., Osaka, JPN)
,
KANNO I.
(Kyoto Univ., Kyoto, JPN)
,
WASA K.
(Kyoto Univ., Kyoto, JPN)
,
KOTERA H.
(Kyoto Univ., Kyoto, JPN)
資料名:
Proceedings of the IEEE International Frequency Control Symposium
(Proceedings of the IEEE International Frequency Control Symposium)
巻:
2010
ページ:
248-251
発行年:
2010年
JST資料番号:
C0958A
ISSN:
1075-6787
資料種別:
会議録 (C)
記事区分:
原著論文
発行国:
アメリカ合衆国 (USA)
言語:
英語 (EN)