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文献
J-GLOBAL ID：201002240526921864
整理番号：10A0465743
H2-O2触媒反応生成H2Oを用いたCVD法の開発と高品質ZnO膜の作製
三浦仁嗣
(長岡技科大 工)
,
西山洋
(長岡技科大 工)
,
田村一成
(長岡技科大 工)
,
安井寛治
(長岡技科大 工)
,
井上泰宣
(長岡技科大 工)
資料名：
応用物理学関係連合講演会講演予稿集(CD-ROM)
(Extended Abstracts of the Spring Meeting, Japan Society of Applied Physics and the Related Societies)
巻： 57th ページ： ROMBUNNO.18P-TN-3 発行年： 2010年03月03日
JST資料番号： Y0054B 資料種別： 会議録 (C)
記事区分： 短報 発行国： 日本 (JPN) 言語： 日本語 (JA)
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