文献
J-GLOBAL ID:201002241030877136
整理番号:10A1086249
マスク検査装置における計測能力の評価
Evaluation of metrology capabilities of mask inspection equipment
著者 (3件):
TOUYA T.
(NuFlare Technol., Inc. (Japan), Kanagawa, JPN)
,
TAMAMUSHI S.
(NuFlare Technol., Inc. (Japan), Kanagawa, JPN)
,
TAKAMATSU N.
(NuFlare Technol., Inc. (Japan), Kanagawa, JPN)
資料名:
Proceedings of SPIE
(Proceedings of SPIE)
巻:
7748
ページ:
77480O.1-77480O.11
発行年:
2010年
JST資料番号:
D0943A
ISSN:
0277-786X
CODEN:
PSISDG
資料種別:
会議録 (C)
記事区分:
原著論文
発行国:
アメリカ合衆国 (USA)
言語:
英語 (EN)