文献
J-GLOBAL ID:201002241046717627
整理番号:10A0127866
ナノ多層Zr-O/Al-O薄膜の陰極アークプラズマ蒸着
Cathodic arc plasma deposition of nano-multilayered Zr-O/Al-O thin films
著者 (5件):
KIM Sun Kyu
(School of Materials Sci. and Engineering, Univ. of Ulsan, Ulsan 680-749, KOR)
,
VAN LE Vinh
(School of Materials Sci. and Engineering, Univ. of Ulsan, Ulsan 680-749, KOR)
,
BOXMAN R.l.
(School of Electrical Engineering, Tel Aviv Univ., Tel Aviv 69978, ISR)
,
ZHITOMIRSKY V.n.
(School of Electrical Engineering, Tel Aviv Univ., Tel Aviv 69978, ISR)
,
LEE Jeong Yong
(Dep. of Materials Sci. and Engineering, KAIST, Daejon, 305-701, KOR)
資料名:
Surface & Coatings Technology
(Surface & Coatings Technology)
巻:
204
号:
11
ページ:
1697-1701
発行年:
2010年02月25日
JST資料番号:
D0205C
ISSN:
0257-8972
資料種別:
逐次刊行物 (A)
記事区分:
原著論文
発行国:
オランダ (NLD)
言語:
英語 (EN)