文献
J-GLOBAL ID:201002242465402934
整理番号:10A1542793
線エッジと線幅の粗さの離散パワースペクトルに及ぼす統計的ノイズ効果
Statistical-noise effect on discrete power spectrum of line-edge and line-width roughness
著者 (2件):
HIRAIWA Atsushi
(MIRAI-Selete, 16-1 Onogawa, Tsukuba, Ibaraki 305-8569, Japan and Renesas Electronics Corp., 751 Horiguchi ...)
,
NISHIDA Akio
(MIRAI-Selete, 16-1 Onogawa, Tsukuba, Ibaraki 305-8569, JPN)
資料名:
Journal of Vacuum Science & Technology. B. Nanotechnology and Microelectronics: Materials, Processing, Measurement, and Phenomena
(Journal of Vacuum Science & Technology. B. Nanotechnology and Microelectronics: Materials, Processing, Measurement, and Phenomena)
巻:
28
号:
6
ページ:
1132
発行年:
2010年11月
JST資料番号:
E0974A
ISSN:
2166-2746
CODEN:
JVTBD9
資料種別:
逐次刊行物 (A)
記事区分:
原著論文
発行国:
アメリカ合衆国 (USA)
言語:
英語 (EN)