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文献
J-GLOBAL ID：201002242728380060
整理番号：10A0786219
DRIEおよび湿式エッチングベースマイクロマシニング応用のための界面活性剤添加TMAHの研究
Study of surfactant-added TMAH for applications in DRIE and wet etching-based micromachining
TANG B
(Nagoya Univ., Nagoya, JPN)
,
SHIKIDA M
(Nagoya Univ., Nagoya, JPN)
,
SATO K
(Nagoya Univ., Nagoya, JPN)
,
PAL P
(Nagoya Univ., Nagoya, JPN)
,
AMAKAWA H
(Nagoya Univ., Nagoya, JPN)
,
HIDA H
(Nagoya Univ., Nagoya, JPN)
,
FUKUZAWA K
(Nagoya Univ., Nagoya, JPN)
資料名：
Journal of Micromechanics and Microengineering
(Journal of Micromechanics and Microengineering)
巻： 20 号： 6 ページ： 065008,1-9 発行年： 2010年06月
JST資料番号： W1424A ISSN： 0960-1317 CODEN： JMMIEZ 資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文 発行国： イギリス (GBR) 言語： 英語 (EN)
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