文献
J-GLOBAL ID:201002243620571027
整理番号:10A1617751
スクリーン印刷したPZT厚膜の三軸MEMS加速度計
Triaxial MEMS accelerometer with screen printed PZT thick film
著者 (6件):
HINDRICHSEN Christian C.
(Technical Univ. Denmark, Kgs. Lyngby, DNK)
,
ALMIND Ninia S.
(Technical Univ. Denmark, Kgs. Lyngby, DNK)
,
BRODERSEN Simon H.
(Technical Univ. Denmark, Kgs. Lyngby, DNK)
,
LOU-MOLLER Rasmus
(InSensor A/S, Kvistgaard, DNK)
,
HANSEN Karsten
(Ferroperm Piezoceramics A/S, Kvistgaard, DNK)
,
THOMSEN Erik V.
(Technical Univ. Denmark, Kgs. Lyngby, DNK)
資料名:
Journal of Electroceramics
(Journal of Electroceramics)
巻:
25
号:
2/4
ページ:
108-115
発行年:
2010年10月
JST資料番号:
W1123A
ISSN:
1385-3449
CODEN:
JOELFJ
資料種別:
逐次刊行物 (A)
記事区分:
原著論文
発行国:
アメリカ合衆国 (USA)
言語:
英語 (EN)