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文献
J-GLOBAL ID：201002243775010382
整理番号：10A1060904
リフロー法によるマイクロレンズの動的形成:プロセス製造の数値シミュレーションおよび実験的研究
Dynamical formation of microlenses by the reflow method: numerical simulation and experimental study of the process fabrication
AUDRAN Stephanie
(STMicroelectronics, Crolles, FRA)
,
MORTINI Benedicte
(STMicroelectronics, Crolles, FRA)
,
FAURE Benoit
(STMicroelectronics, Crolles, FRA)
,
SCHLATTER Guy
(Univ. de Strasbourg, Strasbourg, FRA)
資料名：
Journal of Micromechanics and Microengineering
(Journal of Micromechanics and Microengineering)
巻： 20 号： 9 ページ： 095008,1-9 発行年： 2010年09月
JST資料番号： W1424A ISSN： 0960-1317 CODEN： JMMIEZ 資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文 発行国： イギリス (GBR) 言語： 英語 (EN)
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