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文献
J-GLOBAL ID：201002244881342021
整理番号：10A0288218
ディジタル可変共振周波数同調をもつシリコン魚骨型MEMS共振器
Silicon Fishbone-Shaped MEMS Resonator with Digitally Variable Resonant-Frequency Tuning
TANIGAWA Hiroshi
(Ritsumeikan Univ., JPN)
,
MAKITA Sho
(Ritsumeikan Univ., Shiga, JPN)
,
SUZUKI Kenichiro
(Ritsumeikan Univ., Shiga, JPN)
資料名：
IEEJ Transactions on Electrical and Electronic Engineering
(IEEJ Transactions on Electrical and Electronic Engineering)
巻： 5 号： 2 ページ： 164-170 発行年： 2010年03月
JST資料番号： W1854A ISSN： 1931-4973 資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文 発行国： アメリカ合衆国 (USA) 言語： 英語 (EN)
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