文献
J-GLOBAL ID:201002245797822626
整理番号:10A0524842
精密直線段の小傾斜角検出のための光センサの研究
Investigation of an optical sensor for small tilt angle detection of a precision linear stage
著者 (3件):
SAITO Yusuke
(Tohoku Univ., Sendai, JPN)
,
ARAI Yoshikazu
(Tohoku Univ., Sendai, JPN)
,
GAO Wei
(Tohoku Univ., Sendai, JPN)
資料名:
Measurement Science and Technology
(Measurement Science and Technology)
巻:
21
号:
5
ページ:
054006,1-6
発行年:
2010年05月
JST資料番号:
C0354C
ISSN:
0957-0233
CODEN:
MSTCEP
資料種別:
逐次刊行物 (A)
記事区分:
原著論文
発行国:
イギリス (GBR)
言語:
英語 (EN)