文献
J-GLOBAL ID:201002246450277659
整理番号:10A0066291
ナノメータ厚さの非晶質炭素膜の膜硬度測定に対する基板の影響
Effect of Substrates on Film Hardness Measurements of Nanometer Thick Amorphous Carbon Films
著者 (5件):
AKASAKA Hiroki
(Depatment of Materials Sci. and Technol., Nagaoka Univ. of Technol.)
,
ITO Hiroki
(Depatment of Materials Sci. and Technol., Nagaoka Univ. of Technol.)
,
NAKANO Masayuki
(Depatment of Chemical Sci. and Engineering, Tokyo National Coll. of Technol.)
,
OHSHIO Shigeo
(Depatment of Materials Sci. and Technol., Nagaoka Univ. of Technol.)
,
SAITOH Hidetoshi
(Depatment of Materials Sci. and Technol., Nagaoka Univ. of Technol.)
資料名:
Journal of Solid Mechanics and Materials Engineering (Web)
(Journal of Solid Mechanics and Materials Engineering (Web))
巻:
3
号:
12
ページ:
1233-1237 (J-STAGE)
発行年:
2009年
JST資料番号:
U0026A
ISSN:
1880-9871
資料種別:
逐次刊行物 (A)
記事区分:
原著論文
発行国:
日本 (JPN)
言語:
英語 (EN)