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文献
J-GLOBAL ID：201002246658314710
整理番号：10A0366304
青色マルチレーザダイオードアニーリングにより形成した先端的微小多結晶珪素膜
Advanced Micro-Polycrystalline Silicon Films Formed by Blue-Multi-Laser-Diode Annealing
NOGUCHI Takashi
(Univ. Ryukyus, Okinawa, JPN)
,
CHEN Yi
(Univ. Ryukyus, Okinawa, JPN)
,
MIYAHIRA Tomoyuki
(Univ. Ryukyus, Okinawa, JPN)
,
DE DIEU MUGIRANEZA Jean
(Univ. Ryukyus, Okinawa, JPN)
,
OGINO Yoshiaki
(Hitachi Computer Peripherals Co., Ltd., Kanagawa, JPN)
,
IIDA Yasuhiro
(Hitachi Computer Peripherals Co., Ltd., Kanagawa, JPN)
,
SAHOTA Eiji
(Hitachi Computer Peripherals Co., Ltd., Kanagawa, JPN)
,
TERAO Motoyasu
(Hitachi Computer Peripherals Co., Ltd., Kanagawa, JPN)
資料名：
Japanese Journal of Applied Physics
(Japanese Journal of Applied Physics)
巻： 49 号： 3,Issue 2 ページ： 03CA10.1-03CA10.3 発行年： 2010年03月25日
JST資料番号： G0520B ISSN： 0021-4922 CODEN： JJAPB6 資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文 発行国： イギリス (GBR) 言語： 英語 (EN)
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