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文献
J-GLOBAL ID：201002246840714847
整理番号：10A0814367
溶出型電気化学機械的研磨について除去速度シミュレーション
Removal Rate Simulation of Dissolution-Type Electrochemical Mechanical Polishing
FUKUDA Akira
(Kyushu Univ., Fukuoka, JPN)
,
KODERA Akira
(Ebara Corp., Kanagawa, JPN)
,
TOMA Yasushi
(Ebara Corp., Kanagawa, JPN)
,
SUZUKI Tsukuru
(Ebara Corp., Kanagawa, JPN)
,
HIYAMA Hirokuni
(Ebara Corp., Kanagawa, JPN)
,
DOI Toshiro
(Kyushu Univ., Fukuoka, JPN)
,
KUROKAWA Syuhei
(Kyushu Univ., Fukuoka, JPN)
,
OHNISHI Osamu
(Kyushu Univ., Fukuoka, JPN)
資料名：
Japanese Journal of Applied Physics
(Japanese Journal of Applied Physics)
巻： 49 号： 7,Issue 1 ページ： 076701.1-076701.8 発行年： 2010年07月25日
JST資料番号： G0520B ISSN： 0021-4922 CODEN： JJAPB6 資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文 発行国： イギリス (GBR) 言語： 英語 (EN)
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