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文献
J-GLOBAL ID：201002249802855630
整理番号：10A0361402
RFプラズマCVD法により作製したDLC薄膜の熱電性能評価
Evaluation of Thermoelectric Performance of Diamond Like Carbon Thin Films Prepared by RF Plasma CVD
中村雅史
(茨城大 工)
,
原口忠男
(茨城大 工)
,
内山賢
(茨城大 大学院理工学研究科)
資料名：
表面技術
(Journal of the Surface Finishing Society of Japan)
巻： 61 号： 4 ページ： 325-329 発行年： 2010年04月01日
JST資料番号： G0441B ISSN： 0915-1869 CODEN： HYGIEX 資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文 発行国： 日本 (JPN) 言語： 日本語 (JA)
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