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文献
J-GLOBAL ID：201002250005640325
整理番号：10A0511006
高密度のサブ20nm構造のナノ作製のための高分解PFPEモールディング法 基礎材料アプローチ
High-Resolution PFPE-based Molding Techniques for Nanofabrication of High-Pattern Density, Sub-20 nm Features: A Fundamental Materials Approach
WILLIAMS Stuart S.
(Univ. North Carolina at Chapel Hill, North Carolina)
,
RETTERER Scott
(Oak Ridge National Lab., Tennessee)
,
LOPEZ Rene
(Univ. North Carolina at Chapel Hill, North Carolina)
,
RUIZ Ricardo
(Hitachi Global Storage Technol., California)
,
SAMULSKI Edward T.
(Univ. North Carolina at Chapel Hill, North Carolina)
,
DESIMONE Joseph M.
(Univ. North Carolina at Chapel Hill, North Carolina)
,
DESIMONE Joseph M.
(North Carolina State Univ., North Carolina)
資料名：
Nano Letters
(Nano Letters)
巻： 10 号： 4 ページ： 1421-1428 発行年： 2010年04月
JST資料番号： W1332A ISSN： 1530-6984 CODEN： NALEFD 資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 短報 発行国： アメリカ合衆国 (USA) 言語： 英語 (EN)
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