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文献
J-GLOBAL ID：201002250521054300
整理番号：10A0632490
石英中のマイクロ-ホールを研磨するための電気放電機械加工されたマイクロ-工具の電気泳動析出特性
Electrophoretic deposition characteristics of an electrical discharge machined micro-tool for micro-hole polishing in quartz
YANG Cheng-Kuang
(National Central Univ., Chung-Li, TWN)
,
HUNG Jung-Chou
(Metal Ind. Res. and Dev. Centre, Taichung, TWN)
,
CHENG Chih-Ping
(Industrial Technol. Res. Inst., Shin-Chu, TWN)
,
LIN Wan-Ti
(National Central Univ., Chung-Li, TWN)
,
YAN Biing-Hwa
(National Central Univ., Chung-Li, TWN)
資料名：
Journal of Micromechanics and Microengineering
(Journal of Micromechanics and Microengineering)
巻： 20 号： 5 ページ： 055031,1-9 発行年： 2010年05月
JST資料番号： W1424A ISSN： 0960-1317 CODEN： JMMIEZ 資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文 発行国： イギリス (GBR) 言語： 英語 (EN)
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