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文献
J-GLOBAL ID：201002251038235333
整理番号：10A0464998
走査型TEMによるNi拡散Si(001)表面層の原子配列の決定-低温NiSi2形成の前駆構造-
五十嵐信行
(NEC デバプラ研)
資料名：
応用物理学関係連合講演会講演予稿集(CD-ROM)
(Extended Abstracts of the Spring Meeting, Japan Society of Applied Physics and the Related Societies)
巻： 57th ページ： ROMBUNNO.17A-D-8 発行年： 2010年03月03日
JST資料番号： Y0054B 資料種別： 会議録 (C)
記事区分： 短報 発行国： 日本 (JPN) 言語： 日本語 (JA)
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