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文献
J-GLOBAL ID：201002251303467527
整理番号：10A0761773
非局在熱弾性モデルにおけるta-C膜の固有応力と構造のイオンエネルギーと基板温度に対する依存性
Dependence of intrinsic stress and structure of ta-C film on ion energy and substrate temperature in model of the non-local thermoelastic peak
KALINICHENKO A.i.
(National Sci. Center “Kharkov Inst. of Physics and Technology”, Akademicheskaya Str., 1, 61108, Kharkov, UKR)
,
PEREPELKIN S.s.
(National Sci. Center “Kharkov Inst. of Physics and Technology”, Akademicheskaya Str., 1, 61108, Kharkov, UKR)
,
STREL’NITSKIJ V.e.
(National Sci. Center “Kharkov Inst. of Physics and Technology”, Akademicheskaya Str., 1, 61108, Kharkov, UKR)
資料名：
Diamond and Related Materials
(Diamond and Related Materials)
巻： 19 号： 7-9 ページ： 996-998 発行年： 2010年07月
JST資料番号： W0498A ISSN： 0925-9635 資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文 発行国： オランダ (NLD) 言語： 英語 (EN)
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