前のページに戻る
この文献は全文を取り寄せることができます
JDreamⅢ複写サービスから文献全文の複写（冊子体のコピー）をお申込みできます。
ご利用には、G-Searchデータベースサービスまたは、JDreamⅢのIDが必要です。
ご利用には、G-Searchデータベースサービスまたは、JDreamⅢのIDが必要です。
既に、G-Searchデータベースサービスまたは、JDreamⅢのIDをお持ちの方
JDreamⅢ複写サービスのご利用が初めての方
取り寄せる文献のタイトルと詳細
文献
J-GLOBAL ID：201002251599962455
整理番号：10A0754018
HTS磁気浮上の適用による半導体関連製造システムのクリーンプロセスのための非接触スピンプロセッサの研究開発
Research and Development of Non-Contact Spin Processor for Clean Process in Semiconductor-Related-Production System by Applying HTS Magnetic Levitation
FUKUI Satoshi
(Niigata Univ., Niigata, JPN)
,
KAZAMA Kyosuke
(Niigata Univ., Niigata, JPN)
,
SEKIYA Syouta
(Niigata Univ., Niigata, JPN)
,
OGAWA Jun
(Niigata Univ., Niigata, JPN)
,
OKA Tetsuo
(Niigata Univ., Niigata, JPN)
,
SATO Takao
(Niigata Univ., Niigata, JPN)
,
SORIMACHI Satoshi
(Sophia Univ., Tokyo, JPN)
,
SAITO Kimiyo
(Sophia Univ., Tokyo, JPN)
,
MIYAZAKI Shinsuke
(Sophia Univ., Tokyo, JPN)
資料名：
IEEE Transactions on Applied Superconductivity
(IEEE Transactions on Applied Superconductivity)
巻： 20 号： 3 ページ： 977-980 発行年： 2010年06月
JST資料番号： W0177A ISSN： 1051-8223 CODEN： ITASE9 資料種別： 逐次刊行物 (A)
発行国： アメリカ合衆国 (USA) 言語： 英語 (EN)
JDreamⅢ複写サービスとは
JDreamⅢ複写サービスは、学術文献の全文を複写（コピー）して取り寄せできる有料サービスです。インターネットに公開されていない文献や、図書館に収録されていない文献の全文を、オンラインで取り寄せることができます。J-GLOBALの整理番号にも対応しているので、申し込みも簡単にできます。全文の複写（コピー）は郵送またはFAXでお送りします
※ご利用には、G-Searchデータベースサービスまたは、JDreamⅢのIDが必要です
※初めてご利用される方は、JDreamⅢ複写サービスのご案内をご覧ください。
※ご利用には、G-Searchデータベースサービスまたは、JDreamⅢのIDが必要です
※初めてご利用される方は、JDreamⅢ複写サービスのご案内をご覧ください。