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文献
J-GLOBAL ID：201002253203301314
整理番号：10A0450049
空気圧駆動ベローズアクチュエータと空気軸受を備えたシリンダを用いた粗動/微動デュアルステージの開発
Development of coarse/fine dual stage using pneumatically driven bellows actuator and cylinder with air bearings
KAWASHIMA Kenji
(Tokyo Inst. of Technol., 4259 R2-46, Nagatsuta-cho, Midori-ku, Yokohama, Kanagawa 226-8503, JPN)
,
ARAI Takeshi
(Tokyo Inst. of Technol., 4259 R2-46, Nagatsuta-cho, Midori-ku, Yokohama, Kanagawa 226-8503, JPN)
,
TADANO Kotaro
(Tokyo Inst. of Technol., 4259 R2-46, Nagatsuta-cho, Midori-ku, Yokohama, Kanagawa 226-8503, JPN)
,
FUJITA Toshinori
(Tokyo Denki Univ., 2-2 Kanda-nishiki-cho, Chiyoda-ku, Tokyo 101-8457, JPN)
,
KAGAWA Toshiharu
(Tokyo Inst. of Technol., 4259 R2-46, Nagatsuta-cho, Midori-ku, Yokohama, Kanagawa 226-8503, JPN)
資料名：
Precision Engineering
(Precision Engineering)
巻： 34 号： 3 ページ： 526-533 発行年： 2010年07月
JST資料番号： A0734B ISSN： 0141-6359 資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文 発行国： アメリカ合衆国 (USA) 言語： 英語 (EN)
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