文献
J-GLOBAL ID:201002253561836203
整理番号:10A0944510
アルゴンガスクラスターイオンビームを用いたポリイミド表面からのAr+ビーム-誘導損傷層の除去
Removal of Ar+ beam-induced damaged layers from polyimide surfaces with argon gas cluster ion beams
著者 (5件):
MIYAYAMA Takuya
(ULVAC-PHI, Inc., Kanagawa, JPN)
,
SANADA Noriaki
(ULVAC-PHI, Inc., Kanagawa, JPN)
,
BRYAN Scott R.
(Physical Electronics, Inc., MN, USA)
,
HAMMOND John S.
(Physical Electronics, Inc., MN, USA)
,
SUZUKI Mineharu
(ULVAC-PHI, Inc., Kanagawa, JPN)
資料名:
Surface and Interface Analysis
(Surface and Interface Analysis)
巻:
42
号:
9
ページ:
1453-1457
発行年:
2010年09月
JST資料番号:
E0709A
ISSN:
0142-2421
CODEN:
SIANDQ
資料種別:
逐次刊行物 (A)
記事区分:
短報
発行国:
イギリス (GBR)
言語:
英語 (EN)