文献
J-GLOBAL ID:201002253844118633
整理番号:10A1144009
放電電圧の高次高調波の測定によるマグネトロンターゲットポイズニングのモニタリング
Monitoring of magnetron target poisoning by measurement of higher harmonics of discharge voltages
著者 (2件):
DVORAK P
(Masaryk Univ., Brno, CZE)
,
VASINA P
(Masaryk Univ., Brno, CZE)
資料名:
Plasma Sources Science and Technology
(Plasma Sources Science and Technology)
巻:
19
号:
5
ページ:
055016,1-8
発行年:
2010年10月
JST資料番号:
W0479A
ISSN:
0963-0252
CODEN:
PSTEEU
資料種別:
逐次刊行物 (A)
記事区分:
原著論文
発行国:
イギリス (GBR)
言語:
英語 (EN)