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文献
J-GLOBAL ID：201002254084923537
整理番号：10A0464374
自己組織化を用いた超撥水・無反射シリコン微細構造体の作製
平井悠司
(東北大 工)
,
藪浩
(東北大 多元物質科研)
,
松尾保孝
(北大 電子科研)
,
松尾保孝
(JST-CREST)
,
居城邦治
(北大 電子科研)
,
居城邦治
(JST-CREST)
,
下村政嗣
(東北大 多元物質科研)
,
下村政嗣
(JST-CREST)
,
下村政嗣
(東北大 WPI原子分子材料機構)
資料名：
応用物理学関係連合講演会講演予稿集(CD-ROM)
(Extended Abstracts of the Spring Meeting, Japan Society of Applied Physics and the Related Societies)
巻： 57th ページ： ROMBUNNO.18P-ZE-9 発行年： 2010年03月03日
JST資料番号： Y0054B 資料種別： 会議録 (C)
記事区分： 短報 発行国： 日本 (JPN) 言語： 日本語 (JA)
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