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文献
J-GLOBAL ID：201002254483673765
整理番号：10A0605529
誘導結合プラズマエッチングしたAl0.65Ga0.35N表面に対する無線周波数電力の効果
Effect of radio frequency power on the inductively coupled plasma etched Al0.65Ga0.35N surface
BAI Y.
(Microwave Devices and Integrated Circuits Dep., Inst. of Microelectronics of Chinese Acad. of Sciences, No. 3 ...)
,
LIU J.
(Microwave Devices and Integrated Circuits Dep., Inst. of Microelectronics of Chinese Acad. of Sciences, No. 3 ...)
,
MA P.
(Microwave Devices and Integrated Circuits Dep., Inst. of Microelectronics of Chinese Acad. of Sciences, No. 3 ...)
,
LI B.
(Microwave Devices and Integrated Circuits Dep., Inst. of Microelectronics of Chinese Acad. of Sciences, No. 3 ...)
,
ZHU J.
(Microwave Devices and Integrated Circuits Dep., Inst. of Microelectronics of Chinese Acad. of Sciences, No. 3 ...)
,
GUO L.w.
(Beijing National Lab. for Condensed Matter Physics, Inst. of Physics of Chinese Acad. of Sciences, Beijing 100080, CHN)
,
LIU X.y.
(Microwave Devices and Integrated Circuits Dep., Inst. of Microelectronics of Chinese Acad. of Sciences, No. 3 ...)
資料名：
Applied Surface Science
(Applied Surface Science)
巻： 256 号： 21 ページ： 6254-6258 発行年： 2010年08月15日
JST資料番号： B0707B ISSN： 0169-4332 資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文 発行国： オランダ (NLD) 言語： 英語 (EN)
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