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文献
J-GLOBAL ID：201002255043641434
整理番号：10A1074004
トリエチルアミンボランを用いて低圧化学蒸着法LPCVDによって生成したBCxNyの分析的特性化
Analytical characterization of BCxNy films generated by LPCVD with triethylamine borane
BAAKE Olaf
(Technische Univ. Darmstadt, Darmstadt, DEU)
,
HOFFMANN Peter S.
(Technische Univ. Darmstadt, Darmstadt, DEU)
,
KOSINOVA Marina L.
(Nikolaev Inst. Inorganic Chemistry, RAS, Novosibirsk, RUS)
,
KLEIN Andreas
(Technische Univ. Darmstadt, Darmstadt, DEU)
,
POLLAKOWSKI Beatrix
(Physikalisch-Technische Bundesanstalt, Berlin, DEU)
,
BECKHOFF Burkhard
(Physikalisch-Technische Bundesanstalt, Berlin, DEU)
,
FAINER Nadeshda I.
(Nikolaev Inst. Inorganic Chemistry, RAS, Novosibirsk, RUS)
,
TRUNOVA Valentina A.
(Nikolaev Inst. Inorganic Chemistry, RAS, Novosibirsk, RUS)
,
ENSINGER Wolfgang
(Technische Univ. Darmstadt, Darmstadt, DEU)
資料名：
Analytical & Bioanalytical Chemistry
(Analytical & Bioanalytical Chemistry)
巻： 398 号： 2 ページ： 1077-1084 発行年： 2010年09月
JST資料番号： E0425B ISSN： 1618-2642 資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文 発行国： ドイツ (DEU) 言語： 英語 (EN)
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