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文献
J-GLOBAL ID：201002255151377387
整理番号：10A0165031
黒鉛性炭素薄膜のマイクロ波プラズマ化学蒸着
Microwave plasma chemical vapor deposition of graphitic carbon thin films
MARCINEK Marek
(Environmental Energy Technologies Div., Lawrence Berkeley National Lab., Berkeley, CA 94720, USA)
,
HARDWICK Laurence J.
(Environmental Energy Technologies Div., Lawrence Berkeley National Lab., Berkeley, CA 94720, USA)
,
ZUKOWSKA Grazyna Z.
(Fac. of Chemistry, Warsaw Univ. of Technol., ul. Noakowskiego 3, 00-664 Warsaw, POL)
,
KOSTECKI Robert
(Environmental Energy Technologies Div., Lawrence Berkeley National Lab., Berkeley, CA 94720, USA)
資料名：
Carbon
(Carbon)
巻： 48 号： 5 ページ： 1552-1557 発行年： 2010年04月
JST資料番号： H0270B ISSN： 0008-6223 CODEN： CRBNA 資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文 発行国： イギリス (GBR) 言語： 英語 (EN)
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