文献
J-GLOBAL ID:201002255358510834
整理番号:10A0098194
包装用のSiOx蒸着プラズマにおける粉体生成の化学
Chemistry of Powder Formation in SiOx, Deposition Plasmas for Packaging Applications
著者 (4件):
RICCI M.
(Ecole Polytechnique Federale de Lausanne, Lausanne, CHE)
,
DORIER J. L.
(Ecole Polytechnique Federale de Lausanne, Lausanne, CHE)
,
HOLLENSTEIN CH.
(Ecole Polytechnique Federale de Lausanne, Lausanne, CHE)
,
FAYET P.
(Tetra Pak (Suisse) SA, Romont, CHE)
資料名:
Proceedings of the Annual Technical Conference. Society of Vacuum Coaters
(Proceedings of the Annual Technical Conference. Society of Vacuum Coaters)
巻:
52nd
ページ:
774-777
発行年:
2009年
JST資料番号:
E0063B
ISSN:
0737-5921
資料種別:
会議録 (C)
記事区分:
原著論文
発行国:
アメリカ合衆国 (USA)
言語:
英語 (EN)