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文献
J-GLOBAL ID:201002256477355673   整理番号:10A1542862

集束イオンビーム化学蒸着により作成した3次元ダイヤモンド型炭素ナノ構造の圧抵抗効果

Piezoresistive effect in the three-dimensional diamondlike carbon nanostructure fabricated by focused-ion-beam chemical vapor deposition
著者 (4件):
KOMETANI Reo
(Graduate School of Engineering, The Univ. of Tokyo, 7-3-1 Hongo, Bunkyo-ku, Tokyo 113-8656, JPN)
YUSA Kouki
(Graduate School of Engineering, The Univ. of Tokyo, 7-3-1 Hongo, Bunkyo-ku, Tokyo 113-8656, JPN)
WARISAWA Shin’ichi
(Graduate School of Engineering, The Univ. of Tokyo, 7-3-1 Hongo, Bunkyo-ku, Tokyo 113-8656, JPN)
ISHIHARA Sunao
(Graduate School of Engineering, The Univ. of Tokyo, 7-3-1 Hongo, Bunkyo-ku, Tokyo 113-8656, JPN)

資料名:
Journal of Vacuum Science & Technology. B. Nanotechnology and Microelectronics: Materials, Processing, Measurement, and Phenomena  (Journal of Vacuum Science & Technology. B. Nanotechnology and Microelectronics: Materials, Processing, Measurement, and Phenomena)

巻: 28  号:ページ: C6F38  発行年: 2010年11月 
JST資料番号: E0974A  ISSN: 2166-2746  CODEN: JVTBD9  資料種別: 逐次刊行物 (A)
記事区分: 原著論文  発行国: アメリカ合衆国 (USA)  言語: 英語 (EN)
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