文献
J-GLOBAL ID:201002258858112249
整理番号:10A0464622
ピエゾ抵抗カンチレバーアレイセンサーのsub-ppm感度の実証
Sub-ppm sensitivity of piezoresistive cantilever array sensors
著者 (10件):
YOSHIKAWA Genki
(NIMS)
,
YOSHIKAWA Genki
(Univ. of Basel)
,
YOSHIKAWA Genki
(東北大 金属材料研)
,
AKIYAMA Terunobu
(EPFL)
,
GAUTSCH Sebastian
(EPFL)
,
VETTIGER Peter
(EPFL)
,
LANG Hans-Peter
(Univ. of Basel)
,
GERBER Christoph
(Univ. of Basel)
,
SAKURAI Toshio
(東北大 金属材料研)
,
AONO Masakazu
(NIMS)
資料名:
応用物理学関係連合講演会講演予稿集(CD-ROM)
(Extended Abstracts of the Spring Meeting, Japan Society of Applied Physics and the Related Societies)
巻:
57th
ページ:
ROMBUNNO.18A-ZG-5
発行年:
2010年03月03日
JST資料番号:
Y0054B
資料種別:
会議録 (C)
記事区分:
短報
発行国:
日本 (JPN)
言語:
英語 (EN)