文献
J-GLOBAL ID:201002259163707728
整理番号:10A0854311
ハーフトーン近接リソグラフィー
Half-tone proximity lithography
著者 (5件):
HARZENDORF Torsten
(Fraunhofer Inst. Angewandte Optik und Feinmechanik, Jena, DEU)
,
STUERZEBECHER Lorenz
(Fraunhofer Inst. Angewandte Optik und Feinmechanik, Jena, DEU)
,
VOGLER Uwe
(SUSS MicroOptics SA, Neuchatel, CHE)
,
ZEITNER Uwe D.
(Fraunhofer Inst. Angewandte Optik und Feinmechanik, Jena, DEU)
,
VOELKEL Reinhard
(SUSS MicroOptics SA, Neuchatel, CHE)
資料名:
Proceedings of SPIE
(Proceedings of SPIE)
巻:
7716
ページ:
77160Y.1-77160Y.10
発行年:
2010年
JST資料番号:
D0943A
ISSN:
0277-786X
CODEN:
PSISDG
資料種別:
会議録 (C)
記事区分:
原著論文
発行国:
アメリカ合衆国 (USA)
言語:
英語 (EN)