文献
J-GLOBAL ID:201002261759353383
整理番号:10A0253110
マイクロ/ナノ圧電素子に対する厚さを有するPb(Zr0.52Ti0.48)O3薄膜に関する微小応力緩和効果
Microstress relaxation effect of Pb(Zr0.52Ti0.48)O3 films with thicknesses for micro/nanopiezoelectric device
著者 (3件):
LEE Jeong Hoon
(Dep. of Electrical Engineering, Kwangwoon Univ., Seoul 139-701, KOR)
,
HWANG Kyo Seon
(Nano-Bio Res. Center, Korea Inst. of Sci. and Technol., Seoul 136-791, KOR)
,
KIM Tae Song
(Nano-Bio Res. Center, Korea Inst. of Sci. and Technol., Seoul 136-791, KOR)
資料名:
Applied Physics Letters
(Applied Physics Letters)
巻:
96
号:
9
ページ:
092904
発行年:
2010年03月01日
JST資料番号:
H0613A
ISSN:
0003-6951
CODEN:
APPLAB
資料種別:
逐次刊行物 (A)
記事区分:
短報
発行国:
アメリカ合衆国 (USA)
言語:
英語 (EN)