文献
J-GLOBAL ID:201002261933005365
整理番号:10A0052804
CrSi2-Cr-SiCターゲットからS銃マグネトロンによって蒸着した薄いサーメット抵抗器膜のミクロ構造と抵抗の温度係数
Microstructure and temperature coefficient of resistance of thin cermet resistor films deposited from CrSi2-Cr-SiC targets by S-gun magnetron
著者 (1件):
FELMETSGER Valery V.
(Tegal Corp., 51 Daggett Drive, San Jose, California 95134)
資料名:
Journal of Vacuum Science & Technology. A. Vacuum, Surfaces and Films
(Journal of Vacuum Science & Technology. A. Vacuum, Surfaces and Films)
巻:
28
号:
1
ページ:
33
発行年:
2010年01月
JST資料番号:
C0789B
ISSN:
0734-2101
CODEN:
JVTAD6
資料種別:
逐次刊行物 (A)
記事区分:
原著論文
発行国:
アメリカ合衆国 (USA)
言語:
英語 (EN)