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文献
J-GLOBAL ID：201002262709314600
整理番号：10A0700265
原子層沈着(ALD)による希土類スカンジウム酸塩薄膜 希土類カチオンサイズの効果
Rare earth scandate thin films by atomic layer deposition: effect of the rare earth cation size
MYLLYMAEKI Pia
(Aalto Univ. School of Sci. and Technol., Aalto, FIN)
,
ROECKERATH Martin
(JARA-Fundamentals of Future Information Technol., Juelich, DEU)
,
LOPES Joao Marcelo
(JARA-Fundamentals of Future Information Technol., Juelich, DEU)
,
SCHUBERT Juergen
(JARA-Fundamentals of Future Information Technol., Juelich, DEU)
,
MIZOHATA Kenichiro
(Univ. Helsinki, FIN)
,
PUTKONEN Matti
(Aalto Univ. School of Sci. and Technol., Aalto, FIN)
,
PUTKONEN Matti
(Beneq Oy, Vantaa, FIN)
,
NIINISTOE Lauri
(Aalto Univ. School of Sci. and Technol., Aalto, FIN)
資料名：
Journal of Materials Chemistry
(Journal of Materials Chemistry)
巻： 20 号： 20 ページ： 4207-4212 発行年： 2010年05月28日
JST資料番号： W0204A ISSN： 0959-9428 CODEN： JMACEP 資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文 発行国： イギリス (GBR) 言語： 英語 (EN)
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