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文献

J-GLOBAL ID：201002264109268313 整理番号：10A1026013

ノボラック系ポジ型レジスト中の感光剤量の相違による現像特性

著者 (6件)：

中尾昭和

(金沢工大)

山本雅史

(金沢工大)

河野昭彦

(金沢工大)

堀邊英夫

(金沢工大)

関口淳

(リソテックジャパン)

田中初幸

(AZエレクトロニックマテリアルズ)

資料名：

電子情報通信学会論文誌 C (IEICE Transactions on Electronics (Japanese Edition))

巻： J93-C 号： 10 ページ： 360-366 発行年： 2010年10月01日
JST資料番号： S0623C ISSN： 1345-2827 資料種別：逐次刊行物 (A)
記事区分：原著論文発行国：日本 (JPN) 言語：日本語 (JA)

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