文献
J-GLOBAL ID:201002265414591040
整理番号:10A0098087
Cr2N被覆におけるHIPIMS+(高出力インパルスマグネトロンスパッタリングプラス)技術の工業的影響
Industrial Impact of HIPIMS+ Technology for Cr2N Coatings
著者 (4件):
PAPA F.
(Hauzer Techno Coating, Venlo, NLD)
,
TIETEMA R.
(Hauzer Techno Coating, Venlo, NLD)
,
KRUG T.
(Hauzer Techno Coating, Venlo, NLD)
,
CAMPICHE A.
(Hauzer Techno Coating, Venlo, NLD)
資料名:
Proceedings of the Annual Technical Conference. Society of Vacuum Coaters
(Proceedings of the Annual Technical Conference. Society of Vacuum Coaters)
巻:
52nd
ページ:
214-218
発行年:
2009年
JST資料番号:
E0063B
ISSN:
0737-5921
資料種別:
会議録 (C)
記事区分:
原著論文
発行国:
アメリカ合衆国 (USA)
言語:
英語 (EN)