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文献
J-GLOBAL ID：201002268400510020
整理番号：10A0117845
応力誘起薄膜故障のその場観察
In-situ observations of stress-induced thin film failures
ZHAO Z.b.
(Delphi Res. Labs, 51786 Shelby Parkway, Shelby Twp., MI 48315, USA)
,
HERSHBERGER J.
(Laird Technologies, 4707 Detroit Avenue, Cleveland, Ohio, 44102, USA)
,
BILELLO J.c.
(Dep. of Materials Sci. and Engineering, Univ. of Michigan, Ann Arbor, MI 48109-2136, USA)
資料名：
Thin Solid Films
(Thin Solid Films)
巻： 518 号： 8 ページ： 2037-2044 発行年： 2010年02月01日
JST資料番号： B0899A ISSN： 0040-6090 資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文 発行国： オランダ (NLD) 言語： 英語 (EN)
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