文献
J-GLOBAL ID:201002268690991549
整理番号:10A0776680
双周波数容量結合シラン放電におけるダスト粒子のシミュレーション
Simulation of dust particles in dual-frequency capacitively coupled silane discharges
著者 (4件):
LIU Xiang-Mei
(Dalian Univ. Technol., Dalian, CHN)
,
SONG Yuan-Hong
(Dalian Univ. Technol., Dalian, CHN)
,
XU Xiang
(Dalian Univ. Technol., Dalian, CHN)
,
WANG You-Nian
(Dalian Univ. Technol., Dalian, CHN)
資料名:
Physical Review. E. Statistical, Nonlinear, and Soft Matter Physics
(Physical Review. E. Statistical, Nonlinear, and Soft Matter Physics)
巻:
81
号:
1,Pt.2
ページ:
016405.1-016405.8
発行年:
2010年01月
JST資料番号:
W0493A
ISSN:
1539-3755
CODEN:
PLEEE8
資料種別:
逐次刊行物 (A)
発行国:
アメリカ合衆国 (USA)
言語:
英語 (EN)