文献
J-GLOBAL ID:201002269331396747
整理番号:10A0496152
連続波ファイバレーザによる珪素の高品質の衝撃穿孔
High-quality percussion drilling of silicon with a CW fiber laser
著者 (4件):
YU Joe X. Z.
(Queen’s Univ., Ontario, CAN)
,
WEBSTER Paul J. L.
(Queen’s Univ., Ontario, CAN)
,
LEUNG Ben Y. C.
(Queen’s Univ., Ontario, CAN)
,
FRASER James M.
(Queen’s Univ., Ontario, CAN)
資料名:
Proceedings of SPIE
(Proceedings of SPIE)
巻:
7584
ページ:
75840W.1-75840W.7
発行年:
2010年
JST資料番号:
D0943A
ISSN:
0277-786X
CODEN:
PSISDG
資料種別:
会議録 (C)
記事区分:
原著論文
発行国:
アメリカ合衆国 (USA)
言語:
英語 (EN)