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文献
J-GLOBAL ID：201002270432601919
整理番号：10A0582295
電子ビーム蒸着YSZ薄膜の結晶化と微細構造に及ぼす基板温度の影響
Effects of substrate temperatures on the crystallizations and microstructures of electron beam evaporation YSZ thin films
HUANG Hong-hsin
(Dep. of Electrical Engineering, Cheng Shiu Univ., Kaohsiung, Taiwan, TWN)
,
DIAO Chien-chen
(Dep. of Electronic Engineering, Kao Yuan Univ., Kaohsiung, Taiwan, TWN)
,
YANG Cheng-fu
(Dep. of Chemical and Materials Engineering, National Univ. of Kaohsiung, Kaohsiung, Taiwan, TWN)
,
HUANG Chien-jung
(Dep. of Applied Physics, National Univ. of Kaohsiung, Kaohsiung, Taiwan, TWN)
資料名：
Journal of Alloys and Compounds
(Journal of Alloys and Compounds)
巻： 500 号： 1 ページ： 82-86 発行年： 2010年06月18日
JST資料番号： D0083A ISSN： 0925-8388 資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文 発行国： オランダ (NLD) 言語： 英語 (EN)
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