文献
J-GLOBAL ID:201002271084439521
整理番号:10A0902910
2段・間接バーチャル計測アーキテクチャの開発
Developing a Dual-Stage Indirect Virtual Metrology Architecture
著者 (4件):
TSAI Wen-Huang
(National Cheng Kung Univ., Tainan, TWN)
,
CHENG Fan-Tien
(National Cheng Kung Univ., Tainan, TWN)
,
WU Wei-Ming
(National Cheng Kung Univ., Tainan, TWN)
,
LIN Tung-Ho
(Chung Shan Inst. Sci. and Technol., Taoyuan, TWN)
資料名:
Proceedings. IEEE International Conference on Robotics and Automation
(Proceedings. IEEE International Conference on Robotics and Automation)
巻:
2010 Vol.3
ページ:
2107-2112
発行年:
2010年
JST資料番号:
T0044A
ISSN:
1050-4729
資料種別:
会議録 (C)
記事区分:
原著論文
発行国:
アメリカ合衆国 (USA)
言語:
英語 (EN)